Металлизация ультрабольших интегральных схем
Громов Д.Г., Мочалов А.И., Сулимин А.Д., Шевяков В.И.
Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов. Рассматриваются различные варианты формирования медных межсоединений и приводятся сведения о современных технологиях создания многоуровневых систем металлизации УБИС с медными межсоединениями. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано специалистами, работающими в данной области.
Year:
2015
Edition:
3-е изд. (эл.)
Publisher:
Издательство "Лаборатория знаний" (ранее "БИНОМ. Лаборатория знаний")
Language:
russian
Pages:
277
ISBN 10:
5996325691
ISBN 13:
9785996325696
Series:
МИЭТ
File:
PDF, 7.22 MB
IPFS:
,
russian, 2015